Nanostrukturen
Die Systeme smartWLI compact und smartWLI nanoscan erlauben die Erfassung von Nanostrukturen auf größeren Flächen mit subatomarer Höhenauflösung und Punktedichten bis zu 0.03 µm.
Die Systeme smartWLI compact und smartWLI nanoscan erlauben die Erfassung von Nanostrukturen auf größeren Flächen mit subatomarer Höhenauflösung und Punktedichten bis zu 0.03 µm.